Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів
2

Pulsed inductively coupled plasmas as a method to recoup uniformity: Three-dimensional modeling study

Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 530 KB
english, 2004
5

Pulsed inductively coupled chlorine plasmas in the presence of a substrate bias

Рік:
2001
Мова:
english
Файл:
PDF, 276 KB
english, 2001
6

Pulsed plasmas as a method to improve uniformity during materials processing

Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.41 MB
english, 2004